TY - JOUR T1 - The Effect of evaporation conditions on the optical properties of yttria (Y2O3) thin film TT - بررسی تاثیر شرایط انباشت بر خواص نوری لایه نازک یتریا (Y2O3) JF - opsi JO - opsi VL - 21 IS - 0 UR - http://opsi.ir/article-1-595-fa.html Y1 - 2015 SP - 413 EP - 416 KW - Yttrium dioxide KW - Packing Density KW - Porous KW - Thin film N2 - در این مقاله، تاثیر شرایط انباشت از جمله دمای بستره، آهنگ انباشت و فشارجزئی اکسیژن در طول انباشت، بر خواص نوری لایه نازک یتریا بررسی شده است. لایه نشانی به روش تبخیر واکنشی با پرتوی الکترون و در خلاء اولیه از مرتبه 6-10میلی بار انجام گرفته است و اندازگیری بیشینه­ بازتاب، به وسیله طیف­سنجی در گستره 400-800 نانومتر انجام شده است. نتایج نشان داد که فشار جزئی اکسیژن بیشترین تأثیر را در بین شرایط انباشت دارد. بنابراین، توانستیم با استفاده از این شرط، ساختارهای لایه نازک با خواص نوری متفاوت و از یک ماده یکسان ایجاد کنیم. M3 ER -