RT - Journal Article T1 - Simulation of growth of an array oblique nanorod in the glancing angle deposition (GLAD) JF - opsi YR - 2014 JO - opsi VO - 20 IS - 0 UR - http://opsi.ir/article-1-341-fa.html SP - 837 EP - 840 K1 - Simulation K1 - Morphology K1 - Deposition K1 - Nanorod. AB - در این تحقیق، یک شبیه سازی سه بعدی لایه نشانی با روش کنار نشست برای طراحی و ساخت نانومیله ها ی نازک ارائه شده است. ابتدا با استفاده از نرم افزار مراحل رشد شبیه سازی شده و سپس با استفاده از دستگاه لایه نشانی بخار نشست (PVD) رشد داده می شوند. هم چنین مطالعه ریخت شناسی سطح لایه نازک نقره با روش لایه نشانی مایل مورد بررسی قرار گرفته است. تاثیر انحراف زاویه اتم های ورودی بر قطر نانومیله های نازک مورد مطالعه قرار گرفته و انحراف زاویه 4 درجه برای مطابقت با نتایج تجربی انتخاب شده است. نتیجه این پژوهش تولید نانومیله هایی با قطر کمتر از 40 نانومتر است. LA eng UL http://opsi.ir/article-1-341-fa.html M3 ER -