TY - JOUR T1 - Three Dimensional Surface Topography Measurement by Phase Modulated Mirau Interferometeric Microscope TT - اندازه گیری سه بُعدی ناهمواری سطح با استفاده از میکروسکوپ تداخلی میرائو به روش تلفیق فاز JF - opsi JO - opsi VL - 20 IS - 0 UR - http://opsi.ir/article-1-273-fa.html Y1 - 2014 SP - 597 EP - 600 KW - Phase Modulation KW - Phase Shift KW - 3D Topography measurement KW - Mirau Interferometer Microscope. N2 - در این پژوهش روشی برای اندازه گیری سه بُعدی ناهمواری سطح با استفاده از میکروسکوپ تداخلی میرائو به روش تلفیق فاز ارائه شده است. یکی از روشهای تحلیل طرحهای تداخلی، روش جابه جایی فاز است. در این تحقیق از یک LCD به عنوان تلفیق گر فاز برای ایجاد این جابه جایی فاز استفاده شده است. مزیت این روش نسبت به روشهای متداول، عدم استفاده از جابه جاگرهای مکانیکی و سرعت بالای داده برداری است. M3 ER -