AU - Mohajerani, Sara AU - aakhte, Mostafa AU - Mostafavi Amjad, Jafar AU - Abdolahpour, Dariush AU - Ahadi Akhlaghi, Ehsan TI - Three Dimensional Surface Topography Measurement by Phase Modulated Mirau Interferometeric Microscope PT - JOURNAL ARTICLE TA - opsi JN - opsi VO - 20 VI - 0 IP - 0 4099 - http://opsi.ir/article-1-273-fa.html 4100 - http://opsi.ir/article-1-273-fa.pdf SO - opsi 0 AB  - در این پژوهش روشی برای اندازه گیری سه بُعدی ناهمواری سطح با استفاده از میکروسکوپ تداخلی میرائو به روش تلفیق فاز ارائه شده است. یکی از روشهای تحلیل طرحهای تداخلی، روش جابه جایی فاز است. در این تحقیق از یک LCD به عنوان تلفیق گر فاز برای ایجاد این جابه جایی فاز استفاده شده است. مزیت این روش نسبت به روشهای متداول، عدم استفاده از جابه جاگرهای مکانیکی و سرعت بالای داده برداری است. CP - IRAN IN - LG - eng PB - opsi PG - 597 PT - Research YR - 2014