TY - JOUR T1 - Deposition of Diamond-like carbon utilizing Physical vapor deposition TT - لایه نشانی کربن الماس-گون به روش انباشت بخار فیزیکی JF - opsi JO - opsi VL - 20 IS - 0 UR - http://opsi.ir/article-1-269-fa.html Y1 - 2014 SP - 581 EP - 584 KW - diamond-like carbon KW - deposition KW - 7-13 µm range KW - PVD N2 - دراین پژوهش کربن­ به روش بخارفیزیکی بر روی زیرلایه سولفیدروی و لایه واسط Y2O3 انباشت شد، تأثیر نرخ انباشت در عبور امواج فروسرخ نمونه­های تولید شده با طیف سنجی FTIR و رامان مورد بررسی قرار گرفت. مشاهده شد که تغییر مقدار نرخ انباشت، لایه­های کربن الماس-گون با ساختارهای گوناگونی را پدید می­آورد. نمونه­های تولید شده با نرخ انباشت 30 آنگسترم برثانیه و دمای 100 درجه سانتی­گراد، عبور و مقدار هیبریداسیون sp3 بیشتری دارند که 32 درصد اندازه­گیری شد. این نمونه­ها همچنین از کیفیت مکانیکی بهتری براساس استاندارد MIL-48616 برخوردار بودند. M3 ER -