%0 Journal Article %A Nezamdoost, Hamid %A Kimiagar, Salimeh %A jannesari, Mohammad %T Deposition of Diamond-like carbon utilizing Physical vapor deposition %J Accepted and Presented Articles of OPSI Conferences %V 20 %N 0 %U http://opsi.ir/article-1-269-fa.html %R %D 2014 %K diamond-like carbon, deposition, 7-13 µm range, PVD, %X دراین پژوهش کربن­ به روش بخارفیزیکی بر روی زیرلایه سولفیدروی و لایه واسط Y2O3 انباشت شد، تأثیر نرخ انباشت در عبور امواج فروسرخ نمونه­های تولید شده با طیف سنجی FTIR و رامان مورد بررسی قرار گرفت. مشاهده شد که تغییر مقدار نرخ انباشت، لایه­های کربن الماس-گون با ساختارهای گوناگونی را پدید می­آورد. نمونه­های تولید شده با نرخ انباشت 30 آنگسترم برثانیه و دمای 100 درجه سانتی­گراد، عبور و مقدار هیبریداسیون sp3 بیشتری دارند که 32 درصد اندازه­گیری شد. این نمونه­ها همچنین از کیفیت مکانیکی بهتری براساس استاندارد MIL-48616 برخوردار بودند. %> http://opsi.ir/article-1-269-fa.pdf %P 581-584 %& 581 %! %9 Research %L A-10-1-249 %+ Tehran central branch %G eng %@ 1126-3278 %[ 2014