TY - JOUR T1 - Micromachining of Yb:YAG crystal using passively Q-Switched Nd:YAG microlaser TT - میکروماشین‌کاری کریستال Yb:YAG به وسیله میکرولیزرکیوسویچ انفعالی Nd:YAG JF - opsi JO - opsi VL - 26 IS - 0 UR - http://opsi.ir/article-1-2083-fa.html Y1 - 2020 SP - 441 EP - 444 KW - Yb:YAG crystal KW - Nd:YAG microlaser KW - micromachining N2 - در این مقاله به بررسی میکروماشین‏کاری کریستال Yb:YAG به وسیله میکرولیزرکیوسویچ انفعالی Nd:YAG با پهنای پالس ps450 و انرژی jμ250 پرداخته شده است. پرتوی میکرولیزر با طول موج nm1064 پس از عبور از سیستم اپتیکی مناسب بر سطح کریستال درحال حرکت در نقطه کانونی تابیده می‏شود و ساختار میکروکانال براثر کندگی پلاسمایی ایجاد می‏گردد. بسته به تعداد رفت و برگشت پرتوی لیزر، عمق میکروکانالهابا یکدیگر متفاوت می‏باشد. در این گزارش همچنین به برش کریستال Yb:YAG با استفاده ازروش خراش و برش پرداخته شده است. بدین منظور میکروکانال ساخته شده با روش قبل، تحت تابش لیزر CO2 قرار گرفت و برش کریستال با لبه هایی صاف و بدون ترک انجام شد. M3 ER -