%0 Journal Article %A esfandiari, mehrnaz %A Asadi, Reza %A heydari, payam %A shamsi, Alireza %T Fabrication of deformable polymer micro-mirror with electrostatic actuation %J Accepted and Presented Articles of OPSI Conferences %V 20 %N 0 %U http://opsi.ir/article-1-224-fa.html %R %D 2014 %K Adaptive optics, electrostatic actuator, micromirror, SU-8, %X دراین مقاله روشی نوین جهت ساخت میکروآیینه انعطاف‌پذیر پلیمری مبتنی ‌بر عملگرالکترواستاتیک ارائه شده‌است. استفاده از عملگرالکترواستاتیک در ساخت میکروآیینه‌ها بدلیل دقت بالا و سادگی در ساخت،گزینه‌ی مطلوبی می‌باشد.اما نیاز به ولتاژ تحریک بالا استفاده ازاین نوع عملگر را محدود می‌کند. برای رفع این مشکل، یکی از راهکارها استفاده از مواد پلیمری با مدول الاستیک بسیار پایین بجای سیلیکون است. اما آیینه ساخته شده با استفاده از پلیمر، صافی سطح کمتری در مقایسه با سیلیکون دارد. دراین مقاله برای غلبه براین مشکل از راهکاری برای ساخت میکرواینه استفاده شده که علاوه بر تمام مزایای آینه پلیمری از نظر صافی سطح با نمونه های سیلیکونی برابری می کند. %> http://opsi.ir/article-1-224-fa.pdf %P 1349-1352 %& 1349 %! %9 Research %L A-10-1-204 %+ %G eng %@ 1126-3278 %[ 2014