TY - JOUR T1 - Design and Simulation of the tunable Optical Fabry-Perot filter by MOEMS technology TT - طراحی و شبیه سازی فیلتر نوری تنظیم پذیر فابری-پرو با تکنولوژی M‏OEMS JF - opsi JO - opsi VL - 26 IS - 0 UR - http://opsi.ir/article-1-1953-fa.html Y1 - 2020 SP - 801 EP - 804 KW - Tuneable Optical Filter KW - Fabry-perot Cavity KW - Comb Drive KW - MOEMS N2 - تداخل سنج های اپتیکی، در زمینه­هایی که احتیاج به تنظیم دقیق طول موج دارند بسیار پرکاربرد هستند. تداخل­سنج ها می­توانند طول موج خاصی را با کمک تداخل های سازنده تقویت و بقیه طول موج ها را تضعیف کنند، و اگر در مسیر عبور نور قرار گیرند می توانند به عنوان یک فیلتر طول موج عمل کنند. یکی از انواع تداخل سنج های اپتیکی تداخل سنج فابری پرو می­باشد. در این تحقیق با یکپارچه سازی فیلتر تنظیم پذیر اپتیکی فابری پرو که با دو عدد DBR درست شده، با ادوات MEMS، فیلتر نوری با تنظیم پذیری الکتریکی ارائه می­شود. ساختار فیلتر قابل تنظیم از دو بخش الکترواستاتیکی و اپتیکی تشکیل شده است. بخش اپتیکی شامل کاواک فابری پرو، که از یک جفت آینه­DBR با لایه هایی با ضریب شکست 1/2nH= و 1nL= ، که یک طرف ثابت و طرف دیگر، متصل بر فینگر سیستم محرکMEMS ، است. بخش الکترواستاتیکی ساختار، دارای درایوهای شانه ای است که با اعمال ولتاژ از 0 تا 4 ولت به شانه­ها باعث تغییر طول کاواک و در نتیجه تغییر طول موج عبوری در محدوده 1400 تا 1920 نانومتر، و محدوده­ی تنظیم پذیری 520 نانومتر می­شود. M3 ER -