AU - Shahmohammadi, Javad AU - mardiha, mehdi AU - Zabolian, Hosein AU - firoozifar, alireza TI - Design and fabrication of all-dielectric narrow band-pass interference filter using optical thickness monitoring system PT - JOURNAL ARTICLE TA - opsi JN - opsi VO - 23 VI - 0 IP - 0 4099 - http://opsi.ir/article-1-1336-fa.html 4100 - http://opsi.ir/article-1-1336-fa.pdf SO - opsi 0 AB  - در این پژوهش طراحی و ساخت فیلتر تداخلی نوارگذر باریک مبتنی بر روش فابری پرو با ناحیه­ ی­ انسدادی وسیع در طول موج 1071 نانومتر گزارش شده است. لایه­ نشانی در محفظه­ ی خلا با فشاری از مرتبه­ ی 6-10 میلی بار و توسط تفنگ الکترونی صورت گرفت. ضخامت لایه­ ها به روش ضخامت­ سنجی اپتیکی پایش شد. به منظور ایجاد بخشی از ناحیه­ ی انسدادی بر روی سمت دیگر بستره نیز یک فیلتر تداخلی بلندگذر طراحی و لایه نشانی شد. ­طیف عبور پوشش­ها به وسیله­ ی یک طیف­ سنج دوپرتویی اندازه­ گیری شد. در پایان یک فیلتر نوارگذر با قله­ ی عبوری 95 درصد و پهنای نیم بیشینه­ ی 22 نانومتر ساخته شد. فیلتر نهایی بعد از لایه­ نشانی تمامی آزمون­های محیطی مورد نیاز را طبق استانداردهای مربوطه با موفقیت پشت سر گذاشت. CP - IRAN IN - LG - eng PB - opsi PG - 893 PT - Research YR - 2017