در این پژوهش بهینه‌سازی فرایند سونش سطح بستره با پلاسمای فرکانس رادیویی و سپس لایه‌نشانی ماده ITO به روش کندوپاش جریان مستقیم بر روی بستره اکریلیک به گونه‌ای انجام شد که علاوه بر دستیابی به چسبندگی مناسب لایه به بستره، مقاومت الکتریکی و عبور اپتیکی نمونه به ترتیب کمینه و بیشینه باشند. همچنین خواص اپتیکی و ریخت‌شناسی سطح بستره‌ها مورد بررسی قرار گرفت و شرایط بهینه جهت انجام هر دو فرایند سونش با پلاسما و نیز لایه‌نشانی ITO بر بستره اکریلیک بدست آمد.

واژه‌های کلیدی: لایه نازک، ITO، بستره پلیمری، خواص الکترواپتیکی.

متن کامل [PDF 428 kb]   (1141 دریافت)