|
طراحی و لایه‌نشانی نانوساختار رسانای شفاف ITO بر بستره اکریلیک به روش کندوپاش DC و بررسی ویژگی‌های ساختاری و اپتیکی آن
|
| آقای علیرضا فیروزی فر*1، آقای حسین زابلیان1، آقای محمود ورپایی1، آقای مهدی مردیها1، آقای محمد جان نثاری1، آقای جواد شاه محمدی1 |
| 1- صنایع اپتیک اصفهان |
|
|
چکیده: (2461 مشاهده) |
| در این پژوهش بهینه‌سازی فرایند سونش سطح بستره با پلاسمای فرکانس رادیویی و سپس لایه‌نشانی ماده ITO به روش کندوپاش جریان مستقیم بر روی بستره اکریلیک به گونه‌ای انجام شد که علاوه بر دستیابی به چسبندگی مناسب لایه به بستره، مقاومت الکتریکی و عبور اپتیکی نمونه به ترتیب کمینه و بیشینه باشند. همچنین خواص اپتیکی و ریخت‌شناسی سطح بستره‌ها مورد بررسی قرار گرفت و شرایط بهینه جهت انجام هر دو فرایند سونش با پلاسما و نیز لایه‌نشانی ITO بر بستره اکریلیک بدست آمد. |
|
| واژه‌های کلیدی: لایه نازک، ITO، بستره پلیمری، خواص الکترواپتیکی. |
|
|
متن کامل [PDF 428 kb]
(763 دریافت)
|
|
نوع مطالعه: پژوهشي |
موضوع مقاله:
تخصصی
|
|
|
|
|
|
