در این پژوهش روشی برای اندازه گیری سه بُعدی ناهمواری سطح با استفاده از میکروسکوپ تداخلی میرائو به روش تلفیق فاز ارائه شده است. یکی از روشهای تحلیل طرحهای تداخلی، روش جابه جایی فاز است. در این تحقیق از یک LCD به عنوان تلفیق گر فاز برای ایجاد این جابه جایی فاز استفاده شده است. مزیت این روش نسبت به روشهای متداول، عدم استفاده از جابه جاگرهای مکانیکی و سرعت بالای داده برداری است.

واژه‌های کلیدی: تلفیق فاز، جابهجایی فاز، سطحسنجی سه بعدی، میکروسکوپ تداخلی میرائو.

متن کامل [PDF 624 kb]   (1163 دریافت)