در این مقاله یک حسگر Bio-MEMS برای تشخیص مولکولهای زیستی طراحی شده است. این حسگر مبتنی بر تنش سطحی عمل میکند. هنگامی که نمونه در مجاورت حسگر قرار گیرد، مولکولهای هدف که در نمونه وجود دارند توسط گیرندهها جذب میشوند. جذب شدن این مولکولها باعث تغییر شکل صفحه متحرک میشود. با اندازهگیری مقدار جابجایی، مقدار مولکولهای هدف در نمونه مشخص میشود. اندازهگیری مقدار جابجایی با استفاده از یک رزوناتور حلقهای نوری به صورت فیلتر تمامگذر انجام میشود. استفاده از ساختار نوری در تشخیص، باعث افزایش حساسیت در این حسگر شده است. مطابق شبیهسازیهای انجام شده حساسیت نوری این حسگر 005/0 میباشد. مد ارتعاشی اول برای حسگر طراحی شده KHz99 و پهنای باند آن KHz5 میباشد.