در این مقاله چگونگی طراحی و ساخت جاروبگر باریکه نوری برای مشخصه­یابی از باریکه ­های الکترونی و اپتیکی نشان داده می­شود. این سیستم می­ تواند به صورت غیرمستقیم و با استفاده از لایه­ های اپتیکی پرتودهی شده الکترونی، باریکه ­های لیزری و پلاسمایی را نیز اسکن کند. در این جاروبگر باریکه با استفاده از یک شکاف و یک لبه­ ی تیغ، فضای مورد نظر اسکن به واحدهای کوچک فضایی با سطح مقطع­ های دلخواه تقسیم می­شود. سپس با استفاده از چشمه و آشکارساز مناسب این واحدهای کوچک فضایی قرائت می­گردد. در این تحقیق نمایه دو بعدی فضایی باریکه الکترونی بعد از سیستم اسکن شتابدهنده رودترون، نمایه فضایی لیزر گازکربنیک با توان 2.3 وات و همچنین نمایه ­ی فضایی باریکه پلاسمایی سرد با دقت 1 میلیمتر مربع اندازه ­گیری شدند. نتایج تجربی بدست آمده تطابق بسیار خوبی با تئوری و گزارشات تجربی پژوهشگران دیگر دارند.