[Home ] [Archive]   [ فارسی ]  
:: : ::
الکترونيک پلاسما - Plasma Electronics
Author Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic Translator دکتر عليرضا گنجوئی،مهندس اعظم ميرزائی،مهندس صغری صدر
Publisher انتشارات تايماز Publish Date
Publish Time اول - آبان ماه 1393 Pages Number 494
Cost 280000 ریال Poster admin
Cover type Size
DOI Code Dewey Code
LC Code File -
Description
AWT IMAGE
الکترونيک پلاسما - مورد استفاده در ساخت ابزارهای ميکروالکترونيکی

در سه دهه ی گذشته، کاربردهای پلاسمای کم دما از روشنايی مقدماتی تا ساخت شبکه های ميکروالکترونيک و مواد جديد، به طور وسيعی گسترش يافته است. در اين کتاب، به طور خاص، پلاسماهای با بسامد راديويی در بازه-ی 〖10〗^5  Hzتا〖10〗^9 Hz که برای پردازش مواد فلزی، نيمه هادی و دي الکتريک برای ساخت مدارهای مجتمع با ابعاد فوق العاده بزرگ (ULSI) و رسوب گذاری گونه های مختلف فيلم های نازک و اصلاح خواص سطحی استفاده می‌شوند مورد تحليل قرار گرفته اند.
برای دريافت پيشگفتار مولفان و فهرست مطالب کتاب اينجا کليک نماييد. 
Average: 3.83
Rate numbers: 6



Rate the book
EXCELLENT
VERYGOOD
GOOD
REGULAR
BAD

Back to book treasure homepage | Back to selected book topic

انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 18 queries by YEKTAWEB 3657